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英特爾完成首臺商用高數值孔徑EUV光刻機組裝

4月18日,美國芯片公司英特爾宣布,已接收并完成組裝業界首臺商用高數值孔徑(High NA)極紫外(EUV)光刻機。據介紹,這套重達165噸的設備是ASML與英特爾合作數十年后開發的新一代光刻設備,現位于俄勒岡州的D1X制造工廠,正在進行最后的校準。

編輯/劉曉茹
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